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[摘要] 一種與驅(qū)動(dòng)器和相對(duì)位置誤差傳感電路集成的小型傳動(dòng)裝置形成在單個(gè)硅基片上。該集成小型傳動(dòng)裝置／電子模塊設(shè)置在懸浮和浮動(dòng)塊／傳感器組件之間，以在磁盤驅(qū)動(dòng)器的盤的數(shù)據(jù)磁跡上提供浮動(dòng)塊／傳感器的快速、小的運(yùn)動(dòng)位置控制。小型傳動(dòng)裝置電子設(shè)備與小型傳動(dòng)裝置的集成用磁傳感信號(hào)減小了寄生負(fù)載和干擾問(wèn)題。電子電路建立在硅片上，隨后淀積一個(gè)平面層和一個(gè)接地層，用于與建立在電路的頂部的小型傳動(dòng)裝置隔離。
013 制造運(yùn)動(dòng)傳感器的方法
[摘要] 本發(fā)明涉及一種制造運(yùn)動(dòng)傳感器、尤其是用于汽車車輪轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)速傳感器的方法。在此情況下，具有集成電路(IC；11)和連接電纜(28)的電組件(10)通過(guò)用塑料注塑被封裝，其中，在第一注塑過(guò)程中組件(10)由固定插件(42)支撐在注塑機(jī)(30)中和在背離固定插件(42)的區(qū)域中至少部分地用塑料環(huán)繞注塑。然后取下固定插件(42)并且由用于最終環(huán)繞注塑(58)的第二型芯(44)替換和在此之后在第二注塑過(guò)程中注塑組件(10)和/或連接電纜(28)的剩余的封裝部分(60)，以便形成最后輪廓。
004 具有集成傳感器和驅(qū)動(dòng)器的小型傳動(dòng)裝置及其制造方法
[摘要] 一種與驅(qū)動(dòng)器和相對(duì)位置誤差傳感電路集成的小型傳動(dòng)裝置形成在單個(gè)硅基片上。該集成小型傳動(dòng)裝置/電子模塊設(shè)置在懸浮和浮動(dòng)塊/傳感器組件之間，以在磁盤驅(qū)動(dòng)器的盤的數(shù)據(jù)磁跡上提供浮動(dòng)塊/傳感器的快速、小的運(yùn)動(dòng)位置控制。小型傳動(dòng)裝置電子設(shè)備與小型傳動(dòng)裝置的集成用磁傳感信號(hào)減小了寄生負(fù)載和干擾問(wèn)題。電子電路建立在硅片上，隨后淀積一個(gè)平面層和一個(gè)接地層，用于與建立在電路的頂部的小型傳動(dòng)裝置隔離。
003 微機(jī)械運(yùn)動(dòng)傳感器的制造方法以及微機(jī)械運(yùn)動(dòng)傳感器
[摘要] 本發(fā)明關(guān)于用于測(cè)量物理量如加速度、角加速度或角速度的測(cè)量裝置，更精確地是關(guān)于微機(jī)械運(yùn)動(dòng)傳感器。本發(fā)明運(yùn)動(dòng)傳感器元件的晶片平面內(nèi)的面積小于被方形切割且翻轉(zhuǎn)90°的運(yùn)動(dòng)傳感器元件的面積。相應(yīng)地，本發(fā)明運(yùn)動(dòng)傳感器元件(該元件已翻轉(zhuǎn)90°)的高度在接合方向上小于由接合的晶片形成的晶片堆的厚度。本發(fā)明的目的是提供一種微機(jī)械運(yùn)動(dòng)傳感器改進(jìn)的制造方法，尤其是用于小型微機(jī)械運(yùn)動(dòng)傳感器方案。
010 慣性傳感器及其制造方法
[摘要] 本發(fā)明提供一種慣性傳感器及其制造方法，系利用壓力差(壓力梯度)量測(cè)物體運(yùn)動(dòng)的加速度或角加速度的慣性傳感器。該慣性傳感器包括有基板，位于所述基板上的電路，及壓力裝置包括有環(huán)形腔體，具有第一端及第二端；通道，具有第一端及第二端，所述第二端連接所述環(huán)形腔體的第二端；壓力計(jì)，分別連接所述環(huán)形腔體的第一端及所述通道的第一端，且所述壓力計(jì)電氣連接所述電路；及流體，充填于所述環(huán)形腔體中。因此，本發(fā)明提供高靈敏度平面式結(jié)構(gòu)的慣性傳感器，可達(dá)到結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工藝簡(jiǎn)易，降低成本。本發(fā)明的慣性傳感器可量測(cè)物體移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的加速度或角加速度，可進(jìn)一步相互整合進(jìn)行多軸量測(cè)。
012 用于旋轉(zhuǎn)傳感器裝置的制造方法和旋轉(zhuǎn)傳感器裝置
009 運(yùn)動(dòng)傳感器和制造運(yùn)動(dòng)傳感器的方法
007 用于高輸出傳感器信號(hào)的裝置及其制造方法
008 基于(111)硅的微機(jī)械加速度傳感器及制造方法
005 排氣傳感器的制造方法
011 具有變磁化方向的位置傳感器及其制造方法
001 微慣性傳感器及其制造方法
006 傳感器和制造傳感器的方法
以上13項(xiàng)技術(shù)包括在一張光盤內(nèi)
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