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006 電容式壓力傳感器
[摘要] 一種電容式壓力傳感器(10′)設置有一個檢測元件(12)，該檢測元件被安裝在一個導電的杯形部件(24)內(nèi)，而該杯形部件通過卷曲裝配到電連接件(20′)的底座上。一個調(diào)節(jié)電路(14)被安裝在一個位于傳感器元件和連接件之間的電路空腔內(nèi)并設置有一個凸舌，該凸舌安裝有一個用于將部件與電路導電連接在一起的導電軌道。該部件安裝在一個電絕緣套筒(28)內(nèi)，而該套筒被安裝在一個位于高強度六端口金屬外殼中的腔體內(nèi)，從而使該部件與該六端口外殼絕緣。一個設置在檢測元件(12)和部件的底壁之間的墊圈(26)可由導電材料制成，從而形成一個導電通路，該導電通路將一個設置在檢測元件之壓力檢測表面上的導電涂層與調(diào)節(jié)電路導電連接在一起，以進行流體位移修正。
012 單片單晶硅微機械加工的電容式壓力傳感器
[摘要] 一種微機械加工的電容式壓力傳感器，其結(jié)構(gòu)主要包括：單晶硅襯底；處于單晶硅襯底表面，起電容器性電極作用的外延單晶硅層；處于單晶硅襯底邊緣表面的外延單晶硅框架；覆蓋外延單晶硅框架表面的介質(zhì)薄膜；由外延單晶硅框架支持，起電容器固定電極作用的外延單晶硅層；由外延單晶硅框架所圍繞，處于兩外延單晶硅層之間的空洞夾層。傳感器的制造采用多孔硅選擇性形成，多孔硅上外延生長，以及多孔硅選擇性等技術(shù)。由于器件為全單晶硅結(jié)構(gòu)，器件性能可以得到很大改進，制造成本也能大幅度降低。
014 電容式壓力傳感器
[摘要] 壓力傳感器，包括基體(1)和性測量膜(2)，該測量膜與基體(1)的表面接合以形成在邊緣密封封閉的測量腔(3)；其中基體(1)和/或測量膜(2)包含陶瓷、玻璃或單晶材料；測量膜具有至少一個朝向基體(2)的表面的第一電極(6)，基體(1)的表面具有至少一個朝向測量膜(2)的第二電極(5)，其中第一電極和第二電極之間的電容是待測壓力的量度；其中進一步，第一和第二電極中至少一個電極具有包含金屬和玻璃的導電層，其中金屬包括至少兩種貴金屬元素。
003 高精度電容式壓力傳感器
[摘要] 高精度電容式壓力傳感器是一種高精度、高溫、高壓電容式壓力傳感器，它主要包括信號線1、下外殼2、動片固定螺栓3、動片固定螺母4、墊片5、動片6、薄墊片7、傳感性膜8、環(huán)形槽9、上外殼10、其中將上外殼、動片固定螺栓、傳感性膜合為一個整體，動片由動片固定螺母固定在動片固定螺栓上，在動片的兩側(cè)分別墊有薄墊片7和墊片5，環(huán)形槽9設在傳感性膜上，最后將上外殼和下外殼焊接成型。
002 電容式壓力傳感器
[摘要] 本裝置為測量壓力的傳感器元件，其結(jié)構(gòu)由機械測頭和電子電路輸出兩部分組成，其機械測頭由中間裝有電路板的殼體，上部裝有帶有信號引出電纜的密封上蓋及下部由裝有隔溫硅油通道的壓力腔組成，電路板上裝有電路輸出電路，有測量壓力設定(Ⅰ)，壓力信號振蕩器(Ⅱ)及壓力信號輸出三部分組成，本裝置之優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、通過硅油做傳遞介質(zhì)，耐溫隔熱性能好，測量精度高，工作穩(wěn)定可靠。
007 在放大器反饋路徑中包括電容式壓力傳感器的壓力測量設備
016 電容式壓力傳感器
008 電容式壓力傳感器
010 靜電電容式壓力傳感器及其制造方法
013 電容式壓力傳感器
011 玻璃襯底和使用了該玻璃襯底的靜電電容式壓力傳感器
004 光纖光推動電容式壓力傳感器
015 電容式壓力傳感器
001 電容式壓力傳感器及其制造方法
013 電容式壓力傳感器
015 電容式壓力傳感器
以上16項技術(shù)包括在一張光盤內(nèi)
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